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描述:模擬型壓力傳感器芯體溫度性能好隨著集成工藝技術(shù)進步,擴散硅敏感膜的四個電阻*性得到進一步提高,原始的手工補償已被激光調(diào)阻、 計算機自動修整技術(shù)所替代,傳感器的零位和靈敏度溫度系數(shù)已達10-5/°C數(shù)量級,工作溫度也大幅度提高。
標題:模擬型壓力傳感器芯體
產(chǎn)品概述
模擬型壓力傳感器芯體是一種采用不銹鋼波紋膜片隔離的充油式OEM壓力敏感元件。被測壓力通過隔離膜片和灌注的硅油傳遞到具有惠斯登電橋的精密力學(xué)結(jié)構(gòu)的硅壓敏芯片上,實現(xiàn)了被測壓力和模擬信號精確轉(zhuǎn)換,再通過一個定制的集成電路進行溫度補償和非線性修正并輸出符合I2C、SPI、MODBUS 485協(xié)議的壓力數(shù)據(jù)和溫度數(shù)據(jù)。數(shù)字輸出經(jīng)過歸一化,應(yīng)用性強。
技術(shù)規(guī)格
量程: | -100kPa~0~60MPa |
壓力類型: | 表壓、絕壓和密封表壓型 |
過 壓: | 1.5倍滿量程壓力 |
精 度: | ±0.25%FS |
供電電源: | (5±0.1)V DC;(3.3±0.1)V DC |
長期穩(wěn)定性: | ±0.2%FS/年 |
工作溫度范圍: | -20~80℃ |
貯存溫度: | -40℃~125℃ |
振 動: | 10g,20Hz~2000Hz |
沖 擊: | 100g,11ms |
模擬型壓力傳感器芯體技術(shù)特點:
1、靈敏度高
擴散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50?80倍,它的滿量程信號輸出在80-100mv左右。對接口電路適配性好,應(yīng)用成本相應(yīng)較低。由于它輸入激勵電壓低,輸出信號大,且無機械動件損耗,因而分辨率*。
2、精度高
擴散硅壓力傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測三位一體,無機械動件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),所以重復(fù)性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好,形變小,因而傳感器的線性也非常好,因此綜合表態(tài)精度很高。
3、可靠性高
擴散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變數(shù)量級,膜片zui大位移量在來微米數(shù)量級,且無機械磨損、無疲勞、無老化。平均*時間長,性能穩(wěn)定,可靠性高。
4、頻響高
由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高,一般在50KC。制造過程采用了集成工藝,膜片的有效面積可以很小,配以剛性結(jié)構(gòu)前置安裝特殊設(shè)計,使傳感器頻率響應(yīng)很高,使用帶寬可達零頻至100千赫茲。
5、抗電擊穿性能好
由于采用了特殊材料和裝配工藝,擴散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用,在強磁場、高電壓擊穿試驗中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊。
6、耐腐蝕性好
由于擴散硅材料本身優(yōu)良的化學(xué)防腐性能好,即使傳感器受壓面不隔離,也能在普通使用中適應(yīng)各種介質(zhì)。硅材料又與硅油有良好的兼容性,使它在采用防腐材料隔離時結(jié)構(gòu)工藝更易于實現(xiàn)。加之它的低電壓、低電流、低功耗、低成本和本質(zhì)安全防爆的特點,可替代諸多同類型的同功能產(chǎn)品,具有*良的性能價格比。
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